SBC-16 是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統，特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。

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詳細介紹

主要特性

1、通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損。

2、操作容易快捷，控制的參數包括放氣以及氬氣換氣控制。

3、數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氣壓影響，可得到一致的鍍膜速率和最佳的鍍膜效果。

4、可使用多種金屬靶材：Au，Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶為標配），靶材更換快速方便。

技術參數

濺射系統
靶材	Au靶為標配，可選Pt，直徑57mm x 0.1mm 厚
標準樣品臺	可以裝載12個SEM樣品座，高度可調范圍為60mm
旋轉傾斜樣品臺（選配）	旋轉速度：0~60rpm連續可調，傾斜角度：-90°~ 90°連續可調；不銹鋼腔體：直徑120mm X高75mm；觀察窗：直徑120mm X高45mm；標配旋轉臺直徑40mm，可放4個標準樣品臺，其它規格可訂做；具有雙重鎖緊裝置，可確保樣品在旋轉傾斜時不會松動脫落。
濺射電流	微處理器控制，安全互鎖，可調，電流5~30mA，程序化數字控制
計量表	真空： Atm-1*10-3mbar，電流：0~99mA
控制方法	帶有“開始"“暫停"按鈕的微處理控制器（1－999s），自動抽氣、濺射、關機后自動放氣。
真空系統
抽氣速率	133L/MIN
極限真空	10-4 mbar級
噪音	56dB