場發射掃描電鏡廣泛應用于半導體、無機非金屬材料及器件、納米材料、生物樣品(如組織、細胞、微生物及生物大分子)等的檢測和分析。
場發射掃描電鏡是一種用于材料科學領域的分析儀器，它主要用于觀察和分析材料的表面形貌和微區成分。場發射掃描電鏡具有高分辨率，能夠在低加速電壓下觀察絕緣或導電性差的樣品，這對于研究納米材料等方向有用。此外，場發射掃描電鏡還配備了X射線能譜儀，可以在觀察樣品表面微觀形貌的同時進行微區成分定性、定量、元素分布以及相分析，是研究納米材料等方向的有力工具。
在使用場發射掃描電鏡時，需要注意其運行環境條件的控制，包括溫度、濕度、震動、磁場強度等因素。同時，還需定期檢查和維護電子光學系統、真空系統等核心部件，以確保設備的穩定運行和長壽命。此外，對于燈絲等易損件需及時更換并正確維護，以避免對實驗結果的影響。
場發射掃描電鏡的特點包括：
高分辨率：二次電子分辨率在1.0nm至2.0nm之間，這有助于觀察材料的細微結構。
寬放大倍數范圍：從×20至×800,000，適應不同尺度下的觀察需求。
冷陰極場發射電子源，提供穩定的電子束流。
靈活的加速電壓范圍：從0.5kV至30kV，可根據樣品特性進行調整。
配備X射線能譜儀，進行微區成分分析。
此外，場發射掃描電鏡還具有在低真空或充入特定氣體條件下進行觀察的能力，這使得它能夠直接觀察含水、含油及不導電樣品，而無需進行特殊處理。通過向樣品室充入水蒸氣，可以在不破壞樣品的情況下進行觀察。此外，場發射掃描電鏡還可以對樣品進行加溫和降溫處理，實時觀測化學反應過程，廣泛應用于材料科學、生命科學、地質、有機化學等多個領域的研究和分析。
